【附件 下载附件请联系客服 QQ：2041 408 252】深圳职业技术大学玻璃基板声光扫描高速激光加工设备意向公开采购单位:深圳职业技术大学项目名称:玻璃基板声光扫描高速激光加工设备预算金额（元）:1,950,000.000采购品目:教学仪器采购需求概况:本项目拟购置玻璃基板声光扫描高速激光加工设备，面向集成电路三维封装中玻璃基板通孔、微结构与器件集成等关键工艺，形成“超快激光加工 高速扫描控制”的教学与科研平台，提升学生对透明材料制造、工艺窗口分析与质量评价的实践能力，并可与现有加工光路与安全联锁兼容。按人才培养方案，《集成电路制造技术》《芯片封装基板技术》《三维集成封装技术》《先进玻璃基板技术》等课程实验与实践学时合计超250学时，设备可作为实验平台支撑多批次实训，可通过分组形式组织学生分批次参与教学实验。双波段超快激光与高功率输出覆盖玻璃表面微加工与体内改性窗口，可用于TGV孔阵列预制、微流道/微透镜阵列/光波导等结构的工艺验证；通过调节波长、脉宽与重复频率实现工艺设计—参数优化—结果分析闭环。声光扫描采用无机械惯量偏转，微秒级响应，支持高速阵列写入、复杂轨迹加工与同步触发控制，相比传统振镜在速度、重复性与一致性方面更有优势。联系人:黄老师联系电话:15626233504预计采购时间:2026-06备注:无本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准