南昌大学 | 原子力显微镜(魏振宏) | A033499其他专用仪器仪表 | (一)多线切片机由框架部件、切割头升降及晶体夹紧装置 、切割室组件、绕线管理、切割液管理系统、气路系统、冷却系统、电气部件组成。
(二)原子力显微镜
一、工作模式:
1、轻敲模式;
2、接触模式;
3、相位成像模式;
4、横向力模式;
5、磁场力显微镜;
6、静电力显微镜;
7、表面电势显微镜;
8、动态和静态力曲线测试;
9、力阵列测量;
10、纳米刻蚀;
11、纳米操纵;
12、高次谐波成像模式;
13、频率调制模式;
14、双频共振追踪;
15、智能探针校准:不需要探针接触基底即可直接标定探针微悬臂弹性常数和灵敏度,避免传统方法为标定灵敏度需测试前要探针与基底先要接触一次而污染探针。
二、扫描器
1、扫描器须是X,Y,Z三轴分离的扫描器,X,Y,Z三个驱动轴须是严格正交。
2、X,Y方向的扫描范围不低于30μm,Z方向不低于5μm。
3、扫描器闭环噪音:X,Y轴闭环噪音
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