| 设备故障可能会更换的维修配件及参考价格 |
| igitizer,Struck BDOG5V2(数据采集卡) |
| aser Nitrogen MNL106-PD 60HZ(激光) |
| M599 V21 TOF Multiplier(检测器) |
| ervice XY-stage(样品靶移动平台) |
| ASM lon Source Microflex LT Mounted(离子源) |
| High-voltage power supply 24V/+20kV/8W |
| IE Power Supply(电源模块) |
| IEII,mounted(Pie板) |
| SS/Reflect{**+-20kV Power Supply(20KV高压电源) |
| ens+-10kV (10KV离子透镜电源) |
| IV POWER SUPPLY-5KV(5KV的高压电源) |
| Board,GTSP-5(slave电路板), |
| Master Process{** Complete Mounted (w/SMC)(主控制板) |
| PSU lamda powersupply |
| Turbo Pump HiPace 80 （分子涡轮泵 Hipace80） |
| MEMBRANE PUMP MVP 030-3DC（隔膜机械泵） |
| High Vacuum Pressure Gauge （高压真空规） |
| Rough Vac Pressure Gauge （低真空规） |
| Vacuum Switch Checked （真空检测开关）
|
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